Так же, как и нитрид циркония, нитрид гафния можно получить, прокаливая смеси окисла и углерода в токе азота или нагревая в среде азота или аммиака металлический гафний. Нитрид гафния желтовато-коричневого цвета.
Условия получения нитрида гафния наращиванием из газовой фазы также аналогичны условиям получения нитрида циркония. Осажденный продукт имеет металлический характер. Кемпбелл с сотр. применяли температуры осаждения нитрида гафния из газовой фазы 1100—2700°.
Нитрид гафния обладает гранецентрированной кубической решеткой (B1). Постоянная решетки 4,51 А.
Термодинамические величины даны в работах Сато и Бревера с сотр.
Электронная эмиссия нитрида гафния ниже эмиссии чистого гафния.